ITO靶材是一种以氧化铟锡(Indium Tin Oxide,简称ITO)为基础的陶瓷半导体材料,具有以下核心特性和应用:
一、材料组成与制备
化学组成 ITO由铟(In)和锡(Sn)按一定比例混合的氧化物组成,典型配比为90%的氧化铟和10%的氧化锡。
物理特性
- 透明导电性: 对可见光高度透明,透光率高达90%以上,是显示面板的核心材料。 - 导电性
- 其他特性:热膨胀系数低(约玻璃的1/3)、化学稳定性强,适合高频环境应用。
生产工艺 通过磁控溅射法将ITO靶材气化后溅镀到玻璃基板或柔性有机薄膜上,形成厚度通常为30-200纳米的薄膜。
二、核心应用领域
显示技术
- LED与OLED: 作为发光层材料,提升显示对比度和亮度。 - 液晶显示(LCD)
其他领域 - 传感器与光电设备:
用于光敏元件、触摸屏等。
- 防雾玻璃与幕墙:应用于汽车、建筑等领域。
- 航空航天:耐高温特性使其适合极端环境。
三、市场与技术发展
市场现状:全球市场集中于日本、韩国及中国,但中国已通过自主研发打破部分技术垄断。
技术突破:华南理工大学姚日晖团队自主研发的高性能氧化物半导体材料,已通过TCL、华星光电等企业验证,推动产业化进程。
四、未来展望
随着OLED、柔性显示等技术的快速发展,ITO靶材在下一代显示设备中的地位将进一步提升,同时可能拓展至太阳能电池等新兴领域。
综上,ITO靶材是现代电子显示技术的核心材料,其性能优势使其在多个领域具有不可替代的作用。