在微机系统中，数据存取速度由快到慢的顺序通常为：

CPU内部寄存器

CPU内部寄存器是存取速度最快的部件，用于暂存数据和指令，直接参与运算。

高速缓存（Cache）

高速缓存位于CPU与主存之间，用于存储频繁访问的数据和指令，速度远快于主存但慢于寄存器。

主存储器（RAM）

主存储器是计算机的主要存储区域，用于长期存储数据，但速度较慢。

辅助存储设备

包括硬盘、光盘、U盘等，速度最慢，用于长期数据存储。

补充说明

在多个选择题中，若选项包含"高速缓存"或"Cache"，通常为正确答案。

若选项为"内存储器"，可能指主存，其速度低于Cache但高于硬盘等辅助存储。

综上，微机系统中读取速度最快的部件是 CPU内部寄存器，其次是高速缓存，再其次是主存，最慢为辅助存储设备。