OHT系统,即 Overhead Hoist Transfer,中文称为 空中走行式无人搬送车或 天车,是一种在半导体制造工厂中广泛应用的自动化搬送装置。它能够在空中轨道上行驶,并通过皮带传动起重机构直接进入保管设备或工艺设备的装卸口。OHT系统被认定为300mm FAB及下一代FAB的主力搬送系统,不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。
OHT系统通过先进的齿轮齿条结构、导轨、伺服电机及视觉识别系统等组成,实现了从缓存架到机台的智能交互与上下料操作。其高度自动化的设计有效提升了搬运效率与准确度,大幅缩短了生产周期,同时确保了物料在搬运过程中的安全性与洁净度。
在半导体行业中,OHT系统通常由计算机控制,可以实现高效、准确和可靠的物流运输,提高制造效率和质量。全球半导体天车搬运系统(OHT)核心厂商包括大福、村田机械、SFA Engineering Corporation、SEMES和盟立自动化等。
综上所述,OHT系统是一种高效、准确且安全的自动化搬送系统,特别适用于半导体制造工厂中的物料搬运。
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