UPW系统是一种用于制取超纯水（Ultra-Pure Water）的专用设备系统，主要用于半导体制造、医药、电子等对水质要求极高的领域。以下是关于UPW系统的综合介绍：

一、核心定义与功能

定义

超纯水（UPW）是通过物理、化学或生物方法去除水中杂质（如微生物、有机物、无机盐等）后得到的水，其纯度达到ppm级甚至纳秒级，满足半导体制造、精密仪器等领域的严格要求。

功能

为半导体制造提供工艺用水，如清洗、光刻掩模制备及化学试剂配制；

支持其他高纯度工艺，如电子器件制造、医药研发等。

二、主要组成与技术

核心组件

预处理模块：

去除大颗粒胶体、悬浮物等，降低SDI（悬浮固体）值至≤5；

超滤膜：采用中空纤维超滤膜，孔径范围0.3-2.0mm，可截留分子量达几万至几百万的物质；

后处理系统：包括反渗透（RO）、紫外线消毒、气体净化等，确保水质稳定。

先进技术

中空纤维超滤膜：

是目前超滤技术中成熟度最高的形式，具有高通量、抗污染、易清洗等特点；

全面监控系统：实时检测水质参数（如电阻值、TOC值、粒子计数等），保障生产稳定性。

三、典型应用场景

半导体制造

用于光刻工艺、刻蚀液配制、硅片清洗等关键环节，直接影响芯片性能和良率；

医药与生物领域

满足无菌水、分析试剂等对水质的严苛要求；

其他领域

包括电子器件清洗、实验室分析、特殊工艺制造等。

四、水质评估标准

电阻值：

反映水中离子浓度；

TOC值（总有机碳）：检测有机污染物；

粒子值：评估微生物和颗粒物污染；

阻抗值：辅助判断水质稳定性。

总结

UPW系统通过多级净化和实时监控，为高纯度工艺提供可靠的水源保障，是现代半导体产业及精密制造领域不可或缺的基础设施。