微机电系统（MEMS）是一种将微电子技术与机械工程深度融合的先进技术，通过微纳加工工艺在毫米或微米级实现机械结构与电子元件的集成，具备以下核心特征和应用：

一、基本定义

MEMS系统通过微纳加工技术，将传感器、执行器、信号处理电路等集成于单一芯片或封装中，形成具有特定功能的微型器件或系统。其尺寸通常在微米到毫米级，具有重量轻、功耗低、集成度高、批量生产成本低等优势。

二、核心构成

传感器模块：

用于检测物理量（如压力、温度、光强等），并将其转换为电信号。

执行器模块：

根据电信号驱动机械结构运动，实现精确控制。

信号处理与控制电路：

对传感器数据进行处理，并控制执行器动作。

接口与电源管理：

提供系统所需的电力，并实现与外部设备的通信。

三、关键特点

微型化与集成化：

通过微纳加工技术实现微米/纳米级结构，集成多种功能于一体。

跨学科性：

涉及微电子、材料科学、力学、化学等多学科交叉。

批量化生产：

采用半导体制造工艺，可大规模生产。

应用广泛：

涵盖消费电子、汽车电子、医疗设备、航空航天等领域。

四、典型应用

消费电子：如智能手机传感器（加速度计、陀螺仪）、可穿戴设备。

汽车工业：电子点火器、燃油喷射系统、自动变速箱控制。

医疗领域：生物传感器（血糖监测）、微流控设备。

航空航天：高精度传感器、微执行器（如卫星姿态控制）。

五、发展意义

MEMS技术是继微电子之后，对国民经济和军事具有重大影响的技术领域，被视为21世纪新的经济增长点。其发展不仅推动传统产业升级，还催生新兴应用场景。

以上内容综合了多个权威来源，涵盖MEMS的定义、架构、特性及应用，供全面理解。