高纯系统是半导体制造、泛半导体产业等领域的核心设备系统，主要用于高纯度气体、液体及固体材料的制备、提纯、输送及应用。其核心功能是通过精密控制和先进技术，确保生产过程中材料纯度达到极高标准，满足半导体、光伏、生物医药等领域的严苛工艺需求。具体特点如下：

一、系统组成与功能

核心构成

高纯系统由专用设备、侦测传感系统、自动控制及软件系统、管阀件等组成，形成封闭循环系统。前端连接高纯介质储存装置，终端连接工艺生产设备，确保介质稳定传输。

关键作用

- 纯度保障：

通过分子筛吸附、精密过滤、膜分离等技术，去除气体、水分、颗粒等污染物，维持介质纯度。

- 工艺稳定性：在晶圆制造中，系统用于控片监控机台稳定性、挡片工艺均一性，提升良率。

二、应用领域

半导体制造：用于输送提纯后的电子气体（如氮气、氩气、氢气等），直接影响芯片制造良率。

泛半导体产业：涵盖集成电路、平板显示、光伏、LED等领域，满足不同工艺对气体、化学品的纯度要求。

其他领域：如生物医药（高纯试剂制备）、新能源（高纯气体供应）等。

三、技术核心

极端环境适应性：系统需在高温、高压、低温等极端条件下稳定运行。

精准控制能力：通过传感器实时监测，调整工艺参数，确保纯度波动控制在极小范围内。

四、市场价值

根据研报数据，全球高纯工艺系统市场已达650亿美元规模，预计未来几年持续增长，主要驱动力包括半导体产能扩张、新能源产业快速发展等。

综上，高纯系统是现代高技术产业的关键基础设施，其技术水平直接决定材料纯度和生产工艺稳定性，对产业链整体竞争力具有重大影响。