供气系统的选择需根据具体应用场景、用气规模、气体类型及安全要求综合考量,主要分为以下类型及适用场景:
一、按应用场景分类
半导体及科研机构(4英寸及以下设备) - 采用简单供气系统,制程简单且气体流量小,投资预算低。
中小规模电子厂
- 推荐撬装式集中供气站,无需大规模土建,适合1-2个焊接车间等场景。
大规模集成电路厂(4-6英寸设备)
- 需常规供气系统,配备PLC控制器和多重安全防护措施,确保气体纯度和连续性。
实验室环境
- 优先选择集中供气系统,可降低气体杂质风险,提高纯度并节省钢瓶更换成本。
高层建筑燃气供应
- 需遵循低压进户原则,控制单根管道用户数量不超过25户,确保安全与维护便利性。
化工装置
- 根据仪表布局和用气需求选择单线式、支干式或环形供气方式,并配备专业过滤减压装置。
二、按气体类型选择
特气(如半导体工艺气体)
- 需采用液氮储罐或空分装置,确保低温储存和连续供气,半导体厂多采用液氮储罐配合蒸发器。
普通工业气体(如氮气、氧气)
- 可选用钢瓶组或液体储罐,中小规模用户推荐撬装式系统,大规模用户考虑集中供气站。
燃气供应
- 城镇燃气采用分压级制(如中压B、低压A),高层建筑需特别注意安全阀设置和管道材质。
三、关键配置要求
安全性: 所有系统需配备泄漏检测、紧急切断阀及自动放空装置,确保操作安全。 经济性
维护性:设计时考虑管道布局合理性,便于检修,例如控制室供气需并联安装双组过滤器。
四、总结建议
供气系统选择需结合“场景+气体类型”,同时满足安全、经济、维护等多方面要求。例如:
半导体厂:4英寸设备选简单供气,大规模生产需常规供气系统;
实验室:优先集中供气以提高纯度;
高层建筑:低压进户,分户控制。
建议根据具体需求咨询专业气体供应商,如云达气业等,获取定制化解决方案。