关于空调系统在无尘室（FAB）中的功能及原理，综合相关信息整理如下：

一、FAB无尘室的核心概念

FAB是“Fabrication”的缩写，特指半导体制造中的无尘车间，主要用于电子元件和芯片的批量生产。其核心目标是通过严格控制空气中的微粒浓度，确保产品符合高洁净度要求。

二、空调系统在FAB无尘室的作用

空气过滤与洁净度控制

通过高效空气过滤器（HEPA）等设备，过滤掉空气中的灰尘、微生物等污染物，维持不同区域的洁净度等级（如100级、10000级、300000级等）。

压力管理

采用正压系统，保持车间内气压高于外界，防止污染物渗透进入。

温湿度调节

精确控制温度（通常为20-25℃）和湿度（30%-50%），避免环境因素对工艺的影响。

三、系统组成与工作原理

主要设备

- 新风机组（MAU）：

从室外引入经过滤尘、除湿/加湿处理的新鲜空气，替代室内原有空气。

- 过滤单元：包括初效、中效、高效过滤器三级过滤结构，满足不同洁净度需求。

- 送风与回风系统：通过管道网络将净化空气分配至车间各区域，并回收处理使用过的空气。

工作流程

外界空气 → 除尘/除湿 → 过滤 → 加温/降温 → 送入车间 → 回风过滤 → 再次送入，形成闭环系统。

四、关键控制要点

滤网维护：

定期更换滤网，确保过滤效率。

系统监测：实时检测空气质量、温湿度等参数，及时调整。

正压维持：通过压力差传感器自动调节，避免漏风。

五、总结

FAB无尘室的空调系统是保障生产环境洁净度的核心设施，通过精细化的过滤、压力控制和环境调节，为半导体制造等高精度工艺提供稳定可靠的空气环境。