BSGS系统指的是 大宗特气供应系统（Bulk Specialty Gas Supply System）。这是一个专门用于半导体生产过程中特气供应的系统，涉及高纯气体的持续大流量不间断供应，对全厂生产的运行和产品质量有直接影响。BSGS系统在气柜基础上开发，能够应对半导体行业对气体种类、品质和用量的严格要求。该系统通常以OMRON PLC为控制主体，PROFACE触摸屏为操作界面，并针对不同性质的气体进行盘面设计，确保危险气体的安全供应。此外，BSGS系统还具备自动吹扫、自动切换、手动吹扫及操作阀门等功能，并可通过操作及报警历史记录进行监控。