测量系统是指用于特定测量目的，由全套测量仪器和有关的其他设备组装起来所形成的一个系统。具体来说，它包括以下核心要素：

测量设备与仪器

包括传感器、量具、变换器等直接测量装置，以及用于数据处理的计算机或仪表。

测量方法与程序

指测量操作的标准流程和规范，包括校准方法、测量步骤及数据处理方式。

环境与人员

包含测量环境（如温度、湿度、光照等）和操作人员，环境因素可能影响测量精度，人员技能则直接影响测量结果的可靠性。

其他要素

还需考虑夹具、软件、标准、假设等辅助性组成部分。

功能与作用

测量系统通过上述要素的协同作用，实现被测特性的定量或定性评价，为产品控制、过程优化提供数据支持。例如，在半导体材料检测中，测量系统需确保设备精度、环境稳定性和操作规范，以获得可靠的电导率数据。

相关标准

ISO/TS16949等国际标准提供了测量系统分析（MSA）方法，用于评估系统的稳定性、复现性和准确性，帮助企业持续改进测量能力。